TOC降解器
杀菌系列产品简介:
超纯水制备中,TOC(总有机碳)的降解重要,采用UV-185nm低压紫外技术,并结合UV-254nm紫外线杀菌器,能够通过高剂量的UV-185nm紫外光催化,在水中产生羟基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以降水中的TOC含量。
产品特点:
● 响应时间少于5分钟,可达到氧化;
● 样品的成分和氧化过程产生的副产品不会造成干扰;
● 使用可靠的NDIR技术,保证在低浓度的情况下测量的准确度;
● 先进的自诊断功能,自清洗系统。
● 检出限为5μg/L,专为凝结水回用设计。
工作原理:
TOC降解器中装有可产生185nm波长的紫外灯管,当纯水用185nm紫外光直接照射时,水中TOC与光子直接碰撞的几率很低,靠水中TOC杂质直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困难的,所以可以认为185nm紫外光降解水中TOC时185nm紫外光先与水作用,引起水的均裂反应, 因而185nm紫外光照射水时,在185nm紫外光所能照射的范围内可以产生中间体HO-,H·和eaq(水合电子),这些活性中间体再与水中有机物发生亲电、亲核或电子转移反应,引起水中有机物的降解和矿化,并降TOC浓度。
为什么会使用185nm波长:
目前超大规模集成电路的生产和研究水平的需要,为使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,国内首先在高纯水设备中用185nm紫外线照射,使水中TOC降到小于3μg/L,解决了兆位电路及大直径硅片用高纯水的关键技术难题。若不用185nm紫外线照射,目前高纯水中TOC较好的只能做到20~50μg/L。
185nm紫外线是一种波长较短、能量较高的超紫外线,其能量相当于6.7eV,而一般用于高纯水中的为254nm波长的紫外线,其能量相当于4.88eV,对于这两种紫外线去除有机物,下图列出某些有机物化学键的键能及相应的波长。
化学键的键能表:
化学键 | 键能 | 化学键 | 键能 | ||||
kj.mol-1 | /eV | 波长/nm | kj.mol-1 | /eV | 波长/nm | ||
C-C C=C C=C C-F C-CI C-H C-O | 347.5 615.5 812.2 489.8 326.6 414.5 360.1 | 3.6 6.4 8.4 5.1 3.4 4.3 3.7 | 344 194 148 243 364 288 335 | C-O C-N C-N C-S C-O C-H Si-O | 728.5 305.6 824.8 477.3 594.5 467.1 467.1 | 7.6 3.2 6.4 4.9 6.2 4.8 4.8 | 163 387 194 253 200 258 258 |
根据上图所列各种化学键,若用185nm紫外线,除C≡C,C=O键外,其余化学键的键能均小于6.7eV,均能被破坏。若用254nm紫外线,其键能为4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O键的键能均大于4.88eV,都不能被破坏,而O-H、Si-O键的键能与254nm紫外线接近,也不易被破坏,因此许多有机物在185nm紫外线下被破坏,而在254nm波长的紫外线下不能被破坏,这就是185nm紫外线更能有效降水中的TOC的道理。利用这一键能理论,以185nm紫外线照射高纯水应降TOC,使兆位电路用水TOC下降到小于3μg/L,并在中国成功地用于ULSI和直径200mm硅片及硬盘磁头生产中。
主要功能及特征:
a、用于超纯水制配中TOC降解。
b、紫外线TOC降解设备必须安装精制混床,以保证不增加新的TOC及恢复水中的电解氯。
c、TOC降解的幅度取决于水中TOC的构成情况及紫外线TOC降解设备剂量设计。紫外线TOC降解设备能够使TOC降到10ppb。
适用范围:TOC分析仪适用于化工、石化和电厂凝结水回用的TOC分析
案例现场:
应用:EDI生产线
客户:通用电气水处理技术有限公司
优势:脱除TOC效率大于60%,性能稳定可靠
概述:处理水量15T/H
项目概况:通用电气公司(GE)是多元化服务性公司,500强之中位居前列。
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